氦质谱检漏仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端，并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中，方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实：分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率（分子泵出口处的气压与入口处的压力之比），即不同气体的反向扩散。

反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱检漏仪可达到300Pa（通常传统检漏仪小于0.05Pa），适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。

如果该对的泄漏率和气体释放率较大或体积较大，则如果将泄漏检测器直接连接到泄漏检测器，则可能无法拉高泄漏检测器的真空度，从而导致泄漏检测器无法工作。在这种情况下，必须添加辅助真空系统以提高试件的抽速。简单的辅助真空系统仅需要一个机械泵和两个阀。复杂的系统可以由前级泵，辅助泵，阀门，真空计和标准泄漏组成。次级泵可以是扩散系统或罗茨泵，前级系统优选是气镇机械泵。

将测试件连接到仪器的泄漏检测端口以排空，并用装满氦气的容器覆盖测试件。如果测试件有泄漏，氦气会通过泄漏进入测试件，后到达质谱仪管。检测。测得的泄漏率是被测零件的总泄漏率。无法确定有多少泄漏以及每个泄漏的确切位置。可以看出，钟罩法是基于喷雾法的检漏法。

氦质谱检漏仪通常用于电子组件的背压检测。在进行泄漏检测之前，用的加压容器将氦气加压到试件中（压力的大小由压力和时间控制），然后取出试件，吹走表面以吸收氦气，然后将其放置在的容器中。检漏罐。泄漏检测箱连接到泄漏检测器的泄漏检测端口，并排空泄漏检测箱以执行泄漏检测。如果设备中存在泄漏，则被泄漏压过的氦会释放到泄漏检测罐中到达质谱仪管。用这种方法测得的泄漏率也是总泄漏率。